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產品名稱：高真空滑軌爐
產品型號：
產品廠商：成越科儀
產品文檔：

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簡單介紹：

本套1200℃快速退火爐核心為一套滑道爐，實現加熱及退火的功能，進氣端配有高精度三路質量流量計，用以**控制管內氣氛；同時設備配有渦輪分子泵組，能夠快速達到高真空環(huán)境，*大程度的排除空氣氣氛對實驗的干擾。滑道爐由1200℃標準單溫區(qū)管式爐和高精度滑軌組成。管式爐采用電阻絲加熱，配合多晶纖維爐膛，升溫、保溫性能優(yōu)良?；壔_配合緊密，滑動順滑，易于操作。同時管式爐在操作上采用全彩液晶觸控屏進行操作，具有簡單直觀，易于上手的特點，能夠簡化實驗操作進而節(jié)約試驗時間

詳情介紹：

1200℃管式爐技術參數：

供電電壓

AC220V，50Hz

*大功率

4KW

加熱溫區(qū)

單溫區(qū) 440mm

工作溫度

≤1200℃

控溫精度

±1℃

控溫方式

AI-PID 30段工藝曲線，可存儲多條

爐管材質

高純石英

爐管尺寸

φ80mm I.D x 1000mm L

密封方式

不銹鋼真空法蘭

真空測量

機械式壓力表

工作氣體

氫氣、氮氣、氬氣、氧氣等非腐蝕性氣體

三路質量流量計參數：

閥門類型

不銹鋼針閥

氣路數量

三路

承壓范圍

0.05~0.3MPa

量程

0~100 SCCM (H₂)

0~200 SCCM（Ar）

0~500 SCCM（CH₄）

流量控制范圍

±1.5%

混氣罐容積

750mL

氣路材料

304不銹鋼

管道接口

6.35mm卡套接頭

供電電源

AC220V 50Hz

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供電電壓	AC220V，50Hz
*大功率	4KW
加熱溫區(qū)	單溫區(qū) 440mm
工作溫度	≤1200℃
控溫精度	±1℃
控溫方式	AI-PID 30段工藝曲線，可存儲多條
爐管材質	高純石英
爐管尺寸	φ80mm I.D x 1000mm L
密封方式	不銹鋼真空法蘭
真空測量	機械式壓力表
工作氣體	氫氣、氮氣、氬氣、氧氣等非腐蝕性氣體

閥門類型	不銹鋼針閥
氣路數量	三路
承壓范圍	0.05~0.3MPa
量程	0~100 SCCM (H₂) 0~200 SCCM（Ar） 0~500 SCCM（CH₄）
流量控制范圍	±1.5%
混氣罐容積	750mL
氣路材料	304不銹鋼
管道接口	6.35mm卡套接頭
供電電源	AC220V 50Hz

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產品名稱：高真空滑軌爐