準(zhǔn)分子激光器是一種特殊類型的氣體激光器，其名稱源于工作介質(zhì)——“受激準(zhǔn)分子”，即處于激發(fā)態(tài)的短暫存在的稀有氣體鹵化物（如ArF、KrF、XeCl）。它產(chǎn)生高能量的脈沖激光，典型輸出波長(zhǎng)位于紫外波段。

其核心工作原理是：通過快速脈沖放電，使惰性氣體與鹵素氣體的混合物形成激發(fā)態(tài)準(zhǔn)分子。當(dāng)這些準(zhǔn)分子從激發(fā)態(tài)躍遷回不穩(wěn)定的基態(tài)并迅速離解時(shí)，便釋放出紫外光子，經(jīng)諧振腔放大后形成激光。

憑借紫外光的光子能量高、波長(zhǎng)短的特性，準(zhǔn)分子激光器在工業(yè)上主要應(yīng)用于精密加工，如半導(dǎo)體光刻、OLED顯示屏退火、光纖布拉格光柵刻寫等。在醫(yī)療領(lǐng)域，它則是近視矯正手術(shù)（如LASIK手術(shù)）中用于**切削角膜的關(guān)鍵設(shè)備。

準(zhǔn)分子激光器以其獨(dú)特的紫外、脈沖、高能量特性，成為了**制造和**醫(yī)療中不可或缺的工具

技術(shù)參數(shù):

	適用于脈沖激光沉積鍍膜技術(shù)的準(zhǔn)分子激光器一臺(tái)，使用KrF作為工作氣體。
激光波長(zhǎng)	248±0.5nm；
脈沖能量	≥ 800mJ；
能量穩(wěn)定性	≤1 %；
光束發(fā)散角	≤3×1mrad；
*大重復(fù)頻率	≥ 20Hz；
穩(wěn)定功率	≥ 14W
脈沖寬度（FWHM）	：25±5ns
光斑尺寸	(24±4)×(10±2) mm
其他配置	配光學(xué)平臺(tái)一套，長(zhǎng)度不低于激光器長(zhǎng)度+30 cm，寬度不低于激光器寬度+60 cm，高度根據(jù)激光器出光口高度調(diào)整，激光器出光口中心距地面高度120 cm。 激光器工作氣體采用6000升預(yù)混氣一瓶、5000升高純氦氣一瓶； 配減壓閥及不銹鋼或無氧銅管路； 配分體式冷水機(jī)一臺(tái)，制冷功率≥ 1kW； 配反射鏡（含光具座）2套。 聚焦透鏡（含光具座）1套。